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液质联用中的质谱——真空系统篇
真空是质谱仪运作的必要条件之一，也是操作质谱仪前首先要准备的工作。真空度越高，代表气体压力越低。压力常用的单位有帕斯卡（Pascal）、巴（Bar）、毫巴（mbar）、托（Torr）等（1mbar=0.01 Pa=0.75 Torr）。mbar和Torr之间的换算在低压时通常可以忽略。商业TOF质谱仪的压力通常低于10-6 mbar，离子阱质谱仪的压力维持在10-5 mbar即可。
大多数质谱仪都必须串联低真空及高真空两种泵，而且开启时必须循序启动。质谱常用真空泵有三类。
1、粗抽泵（Roughing Pump）：适用于1000~10-3 mbar
机械泵（Mechanical Pump）、隔膜泵（Diaphragm Pump）及涡卷式泵（Scroll Pump）都属于粗提泵，或前级泵（Fore Pump），需要机油润滑和经常性保养，运转时会产生噪声和高温。
机械泵
2、高真空泵（High Vacuum Pump）：适用于10-4~10-9 mbar
涡轮分子泵（Turbomolecular Pump）、扩散泵（Diffusion Pump）及低温泵（Cryopump）属于高真空泵。涡轮泵和扩散泵都必须在排气口连接一个粗提泵。一般液质联用上使用的高真空泵均为涡轮分子泵。
涡轮分子泵
3、超高真空泵（Ultrahigh Vacuum Pump）：适用于10-4~10-11 mbar
包括低温泵和离子泵（Ion Pump），可将腔体内压力降到超高真空。但低温泵需超低温，离子泵体积特别大。超高真空压力范围也可以串联几个分子涡轮泵来实现。
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